Для микроэлектроники и изготовления полупроводниковых приборов
Области применения и отрасли промышленности
Сверхчистые клапаны GEMÜ разработаны специально для технологического оборудования, технологий химии высокочистых веществ, а также систем подготовки и распределения сверхчистой воды в производстве полупроводниковых приборов. В настоящее время они выпускаются на нашем заводе в Швейцарии в условиях чистых производственных помещений. Наряду с мембранными клапанами серий CleanStar и PurePlus предлагаются также другие компоненты для трубопроводов: датчики давления, расходомеры, фитинги и шланги. Специально для дозирования и в качестве многофункционального узла применяется также мембранный клапан GEMÜ iComLine.
